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日本黑田精工KURODA偏轉(zhuǎn)器式滾珠絲杠 緊湊、精密定位用途 采用行業(yè)界小級(jí)別的螺母形狀，較適合精密微量進(jìn)給機(jī)械裝置，為裝置緊湊化作貢獻(xiàn)。

日本KURODA硅片平整度 / SORI 測(cè)量系統(tǒng) 用于成膜時(shí)的工序控制和卡緊時(shí)平整度控制 水平旋轉(zhuǎn)、真空卡盤(pán)式φ300mm晶圓用表面形狀檢驗(yàn)裝置。 邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的SORI、平整度等高精度自動(dòng)測(cè)量。

日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng) 同步檢驗(yàn)表面形狀、背面形狀和平整度！ NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測(cè)量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測(cè)量。評(píng)價(jià)項(xiàng)目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

上海韜世日本KURODA精密成型平面磨床 主機(jī)占地面積W1,660 x L1,600mm，與傳統(tǒng)機(jī)型相比實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間約50%（※與GS-45FL II 相比）。 行業(yè)界小級(jí)別的精密成型磨床。

上海韜世日本KURODA自動(dòng)化機(jī)器用支撐裝置 有方形和圓形2種，可根據(jù)安裝部位周邊結(jié)構(gòu)進(jìn)行選擇?？蛇m用絲杠尺寸φ6、8、10、12、15、16、20、25、28、32的滾珠絲杠。

上海韜世日本KURODA機(jī)床用支撐裝置 采用緊湊設(shè)計(jì)以縮小安裝部位周邊空間，支撐裝置內(nèi)的滾珠絲杠高精度推力斜角滾珠軸承預(yù)先已經(jīng)過(guò)適度的預(yù)壓調(diào)整，可直接安裝。且通過(guò)內(nèi)置防松功能的滾珠絲杠緊固螺母，可完成高精度安裝。

上海韜世日本KURODA精密成形平面磨床 從手動(dòng)加工到全自動(dòng)加工，更實(shí)現(xiàn)了左右高速高精度轉(zhuǎn)向加工。

上海韜世日本黑田精工KURODA油壓夾具 跳動(dòng)精度控制高達(dá)“1μm”。 優(yōu)異的夾持精度，適合從成形加工到檢驗(yàn)的各類(lèi)用途。 油壓夾具是通過(guò)靜態(tài)液壓，利用薄壁圓柱部的金屬變形（彈性變形）夾持工件（產(chǎn)品、工具等）的夾具。 利用“帕斯卡原理”，施加小力而產(chǎn)生大力，因此金屬也會(huì)像氣球一般鼓起。 利用薄金屬的圓柱部的彈性變形產(chǎn)生膨脹，通過(guò)力的傳遞夾持工件。 油壓夾具的類(lèi)型有以下兩種： ? 適用孔形工件的